簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "林紀穎".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="移相法"


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    全域式晶圓翹曲量測技術
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生： 黃永光   指導教授： 謝宏麟
    • 本研究成功開發一套創新的全域式晶圓翹曲量測系統，用以即時偵測待測晶圓的翹曲值及其表面形貌。此套晶圓翹曲量測技術以「疊紋」為技術核心，結合光柵自成像效應、瞬時相移法及四步移相法等設計概念進行開發，使系…
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